联系方式 | 手机浏览 | 收藏该页 | 网站首页 欢迎光临上海安宇泰环保科技有限公司
上海安宇泰环保科技有限公司 飞秒激光加工|环保焚烧炉|碳纳米高散热基板|插板阀
18964025929
上海安宇泰环保科技有限公司
当前位置:上海安宇泰环保科技有限公司 > 产品服务 > 专门用闸阀UMC 上海安宇泰供应

专门用闸阀UMC 上海安宇泰供应

2024-05-26 04:18:33

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,步进电机插板阀Stepper Motor Gate Valve,-产品范围:2.5“~10”-压力控制-使用步进电机Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,用步进电机/控制器操作阀门-通过步进电机/控制器精确控制阀门的压力-根据产品的不同,控制器可以安装在客户需要的地方,微泰,步进电机插板阀应用于? Evaporation(蒸发)? Sputtering(溅射)? Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)? Coating(涂层)? Etch(蚀刻)? Diffusion(扩散)?CVD(化学气相沉积)等设备上。微泰步进电机插板阀Stepper Motor Gate Valve有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。专门用闸阀UMC

微泰半导体闸阀具有诸多特点:其阀门驱动部分的所有滚子和轴承都经过精心防护处理,形成屏蔽和保护环(Shield Blocker 和 Protection Ring),通过三重预防方式有效切断粉末(Powder),从而延长阀门驱动及使用寿命。该闸阀采用的三重预防驱动方式中的 Shield 功能,能够出色地防止气体和粉末侵入阀体内部,同时具备三重保护驱动保护环,可延长 GV 寿命的 Shield 方法,并已供应给海外半导体 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 设备。此外,挡板与阀体之间的距离小于 1mm,能够强力阻挡内部粉末和气体的流入,屏蔽挡板采用 1.5t AL 材料制成,充分考虑了其复原力,并通过 Viton 粉末热压工艺制成。而三重保护保护环的主要功能则包括:AL 材料的重量减轻和保护环内部照明的改善、保护环内部流速的增加以及三元环的应用确保了驱动性能的提升。转移闸阀闸阀高度大,启闭时间长。闸板的启闭行程较大,升降是通过螺杆进行的。

微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,插板阀,气动(锁定)闸阀和手动(锁定)闸阀-按产品尺寸和法兰类型排列-ID为1.5英寸至30英寸,ISO、CF&JIS和ASA法兰等-现有手动闸阀的锁定功能(Exist Manual GV of Locking Function)。微泰气动(锁定)闸阀和手动(锁定)闸阀应用于? Evaporation(蒸发)? Sputtering(溅射)? Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)? Coating(涂层)? Etch(蚀刻)? Diffusion(扩散)?CVD(化学气相沉积)等设备上。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。

微泰,铝闸阀应用于? Evaporation(蒸发)? Sputtering(溅射)? Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)? Coating(涂层)? Etch(蚀刻)? Diffusion(扩散)?CVD(化学气相沉积)等设备上。期特点是*不论什么工艺的设备都可以使用*由半永久性陶瓷球和弹簧组成*应用:隔离泵。铝闸阀规格如下:驱动方式:手动、法兰尺寸:1.5英寸~ 10英寸、阀体:AL6061 (Anodizing)、机械装置:AL6061 (Anodizing)、阀门:O型圈(VITON)、真空密封:O型圈(VITON)、响应时间≤ 3 sec、驱动器:气缸、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ?/sec、压力范围:< 1×10-10 mbar ?/sec、开始时的压差:≤ 30 mbar、初次维护前可用次数100,000次、阀体温度≤ 120 °执行机构温度≤ 60 °C、安装位置:任意、操作压力(N2):4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。可替代VAT阀门。控制系统闸阀。控制系统闸阀具有可隔离的闸阀,以滑动方式操作,可以在高真空环境中实现精确的压力控制。

微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外,它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成,用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动,确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构,保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造,其特点是设计紧凑,易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动,确保完美的腔室压力维护。它的内部机构,包括一个LM导向系统和滞留弹簧和楔形营地结构,保证了高耐用性和长寿命,同时提供稳定和精确的运动。I型和L型转移阀在在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动,并且对温度变化非常稳定,确保了较长的使用寿命。此外,即使长时间使用栅极,它们产生的颗粒也很少,从而避免了晶圆缺陷或主器件的污染。微泰不断创新,在开发先进的压力控制和控制阀制造专业从事真空闸阀不懈努力。关闭真空阀涉及将闸门移动穿过流路以形成密封。转移闸阀

闸阀流动阻力小。阀体内部介质通道是直通的,介质成直线流动,流动阻力小。专门用闸阀UMC

微泰,传输阀 (I-MOTION)、I型转换阀、输送阀、转移阀应用于晶圆加工,半导体加工,可替代VAT闸阀。其特点是? 主体材料:铝或不锈钢? 紧凑型设计? 使用维修配件工具包易于维护? 应用:半导体系统中小于 450mm 晶圆的传输和处理室隔离,传输阀 (I-MOTION)、输送阀、转移阀规格如下:闸门密封类型:传输阀 (I-MOTION)、右动转换阀、驱动方式:气动、法兰尺寸(内径) 32×222/46×236/50×336/56×500 、连接方式:焊接波纹管、闸门密封 Viton O 形圈/硫化密封件、阀盖密封:氟橡胶O型圈、响应时间:≤ 2 sec、工作压力范围:1×10-10 mbar to 1200 mbar、开始时的压差:≤ 30 mbar、开启时压差: ≤ 1200 mbar r、泄漏率不锈钢:< 1×10 -9Mbar?/秒/铝:< 1×10 -5  mbar ?/秒、维护前可用次数: ≥1,000,000次、阀体温度≤ 200 °、机构温度≤ 80 °C、烤炉温度≤ 200 °C、材料:阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置:任意、操作压力(N2):4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩,上海安宇泰环保科技有限公司。专门用闸阀UMC

关于我们

上海安宇泰环保科技有限公司成立于2006年,起初是一家市场研究咨询公司,但在2009年更名为现在的名称并转型为专业经营进出口贸易的公司。该公司目前主要从韩国引进并销售飞秒激光加工技术、环保设备、碳纳米散热基板和插板阀等项目。其中,飞秒激光加工技术可以在各类半导体部件和精密机械设备制造中发挥重要作用,能在韩国完成加工,并且工厂可以根据客户需求改良图纸。此外,该公司还引入了韩国技术的环保焚烧炉,可以在无烟无味的情况下焚烧垃圾,适合处理医疗垃圾、偏远农村垃圾和船舶垃圾等。

上海安宇泰环保科技有限公司公司简介

联系我们

本站提醒: 以上信息由用户在珍岛发布,信息的真实性请自行辨别。 信息投诉/删除/联系本站